Epitaxial Growth
아이브이웍스는 최신 인공지능 기반 영상분석 기술을 Hybrid-MBE 기술과 접목한 딥러닝 기반 인공지능 에피택시 플랫폼 DOMM™을 선보입니다.
도메인 지식을 갖춘 자사의 우수한 반도체 소재 성장 전문가들과 인공지능 전문가들이 협력해 데이터를 한 차원 더 깊이 이해하고 그 아이디어를 통해 인공지능 예측 모델을
더욱더 탄탄하게 만들고 있습니다.
Machine learning platform for Epitxaial Wafer Production
Hybrid-MBE의 RHEED 모니터링 기법을 통해 실시간으로 확보되는 원자 층 수준의 결정 구조 정보를 딥러닝 기반 인공지능 기술로 분석 및 응용하여 양품 수율을극대화시킵니다.
박막합성 과정 동안 전자빔(Electeon Beam)을 박막표면에 조사하여 반사되어 나오는 회절패턴과 각종 장비로부터 얻는 센싱데이터를 AI가 수집, 관리, 학습합니다
DOMM™은 Sub-Ångström 단위의 변화를 관측하며 생산조건에 따른 다양한 패턴의 변화를 관측해 이미지 정보들을 학습, 예측하여 생산공정에 적용합니다.
Architecture
화합물 반도체 성장에 필요한 머신러닝 예측 모델 제공
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01
RSM
Sheet Resistance
Model -
02
PDM
Pattern Detection
Model -
03
CPM
Crystal Prediction
Model -
04
ADM
Anomaly Detection
Model -
05
RRM
Recipe Recommend
ation Model
DOMM™은 화합물 반도체 성장의 생산성과 품질 경쟁력 향상을 위해 탄생했습니다
DOMM™은 에피 성장에 필요한 머신러닝 예측 모델로 제품 생산과정의 실시간 모니터링, 품질 예측, 조건 제어를 통한 인공지능 분자 합성제어 시스템을 실현시킵니다.
| Level 0 | Level 1 | Level 2 | Level 3 | Level 4 | Level 5 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| Manual | Automatic | Partial AI Assistance | AI Assistance | AI Production | AI Manufacturing | |
| Reclpe Development |
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| Operation | |
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| Monitoring | |
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| Pass/Fail Prediction |
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| Reclpe Correction | |
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- Human
- Machine
- AI
